為了滿足自動(dòng)化儀器等新產(chǎn)品的發(fā)展需要,合肥一家儀表元件廠決定建設(shè)新的集成電路生產(chǎn)線。本部分主要為10萬(wàn)級(jí)凈化車間生產(chǎn)區(qū),分為上下兩層,底層為線性電路車間,二層為數(shù)字電路車間,潔凈區(qū)建筑面積1210m2。
凈化車間10萬(wàn)級(jí)
具有一定空氣清潔度要求的房間稱為潔凈室,集成電路生產(chǎn)過(guò)程的大部分環(huán)境都需要空氣凈化處理。根據(jù)工藝流程清潔、恒溫等不同要求,線性、數(shù)字電路車間的清潔等級(jí)設(shè)計(jì)要求為10萬(wàn)級(jí),即粒度為0.5μm污垢含量不得超過(guò)3500/L。清潔車間確保環(huán)境凈化,雖然主要依靠空氣凈化和空調(diào)手段,但如果室內(nèi)裝修處理不當(dāng),也會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重影響;如室內(nèi)墻、天花板材料脫落、氧化灰、細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)灰、天花板、門窗、管道間隙灰等,將直接影響凈化效果。因此,對(duì)于清潔車間,建筑室內(nèi)裝飾技術(shù)比任何其他類型的生產(chǎn)房間都更重要。
凈化車間10萬(wàn)級(jí)
結(jié)構(gòu)造型與平面組合主體工程設(shè)計(jì)采用混合結(jié)構(gòu)形式,基本柱網(wǎng)6 2.1 6(m),兩側(cè)外加1.5m寬外廊。每層為埋設(shè)公共設(shè)施管道增加60層。mm厚石混凝土澆筑層;沿中間走道兩側(cè)和走廊內(nèi)側(cè)的四個(gè)縱墻設(shè)計(jì)為370mm墻體不僅滿足了敷設(shè)各種隱蔽管道和電氣配件的需要,而且避免了室內(nèi)凸柱堆放,確保了內(nèi)墻的平整度,非常有利于確保車間的凈化。10萬(wàn)級(jí)清潔區(qū)按其凈化要求設(shè)計(jì)為無(wú)窗封閉車間,有效隔離外部環(huán)境,避免外部污染。但工人長(zhǎng)期從事與外部環(huán)境隔離的無(wú)窗車間的生產(chǎn)勞動(dòng),容易產(chǎn)生抑郁和疲勞。
凈化車間10萬(wàn)級(jí)
為改善工人的生產(chǎn)環(huán)境,設(shè)計(jì)增加了1.5m寬敞的封閉式走廊不僅改善了室內(nèi)照明,而且增加了間接的自然照明,使工人在視覺(jué)上與外部環(huán)境相連。此外,封閉式走廊直接連接到清潔生產(chǎn)區(qū)的走道,并有安全出口。在緊急情況下,工作人員可以盡快疏散??諝鈨舾邌?wèn)題集成電路生產(chǎn)車間的一般設(shè)備和設(shè)備高度主要為1.5m以下設(shè)備不超過(guò)2個(gè)m,這是降低高度的一個(gè)有利因素;但建筑凈高不能無(wú)限降低,因?yàn)閮舾咛腿菀资构ぷ魅藛T產(chǎn)生沉悶的情緒。一般來(lái)說(shuō),舒適的建筑視覺(jué)感應(yīng)滿足兩個(gè)條件:凈高不低于人體高度的1.5倍,不小于房間深度的1/3。根據(jù)相關(guān)資料,我國(guó)成年男女平均身高分別為1/1.67m和1.56m,二者平均為1.61m。潔凈車間女工總數(shù)約占75%,實(shí)際平均身高較低。如果按平均身高的1.考慮5倍,室內(nèi)凈高應(yīng)為5倍≥2.4m;車間深度設(shè)計(jì)為6m,凈高應(yīng)按其1/3考慮≥2m。綜合以上因素,確定室內(nèi)凈高取2.4m。
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