半導(dǎo)體無(wú)塵車間或潔凈區(qū)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣清潔度等級(jí)要求的工藝和潔凈設(shè)備。半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程工藝布車間設(shè)計(jì)綜合考慮協(xié)調(diào)，布局合理緊湊。在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)靠近空調(diào)室，空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室應(yīng)集中布置，空氣潔凈度等級(jí)低的工作室應(yīng)靠近潔凈區(qū)人口。凈化無(wú)塵車間工程中空氣清潔度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口的位置。應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝維護(hù)的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和維修口。
半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程周圍的道路面層應(yīng)選用完整性好、粉塵少的材料。應(yīng)設(shè)置環(huán)形消防車道（可使用的交通道路）。如有困難，可沿工廠兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。無(wú)塵車間工程周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。草坪可以鋪設(shè)，樹(shù)木對(duì)大氣粉塵濃度沒(méi)有有害影響，形成綠色社區(qū)。但不得妨礙消防操作。
半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程應(yīng)遠(yuǎn)離碼頭、機(jī)場(chǎng)、交通要道、工廠、倉(cāng)庫(kù)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域，排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重的空氣污染源，應(yīng)位于其大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；
半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程應(yīng)布置在環(huán)境清潔、人流、貨流不交叉或少穿越的地區(qū)。半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程與交通干道的距離不小于50米。對(duì)于具有微振動(dòng)控制要求的半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程的位置選擇，應(yīng)實(shí)際確定周圍現(xiàn)有振動(dòng)源的振動(dòng)影響，并與準(zhǔn)確的設(shè)備和準(zhǔn)確的儀器進(jìn)行分析和比較。當(dāng)半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程中高頻風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，半導(dǎo)體無(wú)塵車間工程與煙囪的水平距離不得小于煙囪高度的12倍。
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